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STMicroelectronics vacancy search engine

Stage : Amélioration de la méthode quantification des matériaux en TEM-EDS M/F


General information

 KEY INFORMATION:

  Location: Europe, France, Crolles

Type of contract: Temporary

Job open date: 24/11/2020

Company department: Characterization & Modeling

 

 STMicroelectronics is a leading semiconductor company, a world key player thanks to our 43,200 employees including 8,300 working in R&D.

 ST’s products are found everywhere today. And together with our customers, we are enabling smarter driving, homes, factories, and cities, along with the next generation of mobile and Internet of Things devices. Everywhere microelectronics makes a positive contribution to people lives, ST is there.

 In 2018, we were ranked by the Randstad Employer Brand Research Award among the 5 most attractive companies in France, for our values of excellence, our integrity and the respect of our employees.

 

 POSTING PRESENTATION:

Les processus de fabrication de produits en microélectronique nécessitent la maitrise des procédés et matériaux utilisés. En particulier, les matériaux qui reviennent de manières récurrentes sont les nitrures tels que SiN et TiN ainsi que certains siliciures. Ces matériaux peuvent avoir des stœchiométries différentes selon le procédé mis en œuvre et il est important de l’évaluer. Les propriétés physiques/électriques de ces matériaux sont ainsi principalement vérifiées par des outils métrologiques, au cours des étapes d’intégrations du produit en salle blanche. Néanmoins, pour maitriser ces procédés, la caractérisation de ces matériaux via d’autres techniques est nécessaire.

La quantification de ces matériaux peut être étudiée à l’aide des techniques associées au microscope électronique à transmission (MET). En effet, les nombreuses interactions du faisceau d’électrons avec la matière sont caractéristiques des propriétés des matériaux. Elles sont analysées via une série de techniques : de l’imagerie TEM/ STEM conventionnelle, à l’analyse de leur composition chimique (EDS, EELS) et de leur propriétés cristallines (NBD).

L’objectif de ce stage est de statuer et d’améliorer la quantification des différents nitrures par la technique TEM-EDS. Actuellement la méthode de quantification Cliff-Lorimer est utilisée pour cette quantification. D’autres méthodes de quantification existent et seront évaluées pour les applications ciblées.

Intégré(e) au sein du laboratoire de caractérisation physique sur le site de Crolles, l’étudiant(e) sera formé(e) à l’utilisation des microscopes électroniques à transmission disponibles au laboratoire. Sa mission consistera à étudier les paramètres qui rentrent en jeu dans la quantification des matériaux SiN, TiN et de certains siliciures. Les mécanismes d’absorptions, les effets de l’épaisseur des lamelles TEM, et la revue des facteurs de correction utilisés dans la méthode cliff-lorimer seront principalement étudiés. L’étudiant(e) coordonnera ses expériences en s’appuyant sur les résultats d’autres techniques utilisées au laboratoire, tels que la Spectroscopie de perte d’Energie des Electrons (EELS), la Spectroscopie photoélectronique à rayonnement X (XPS) et la Spectrométrie de Masse des Ions Secondaires (SIMS ou Tof-SIMS). Une communication régulière avec l’ensemble des acteurs en lien avec ce projet sera demandée.


 

PROFILE REQUIRED:

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    Compétences requises :
    -        Étudiant niveau bac+5, dernière année d’école d’ingénieur ou M2
    -        Physique/sciences des matériaux
    -        Rigoureux(se) – Esprit de synthèse
    -        Intérêt pour le travail en équipe, le travail expérimental, la physique des matériaux
  •  5 - Master degree
  •  Less than 2 years

 

CONTACT & APPLY FORM:

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